Brevet : WO2011003908 - CAVITE ETANCHE ET PROCEDE DE REALISATION D'UNE TELLE CAVITE ETANCHE.

Titre

CAVITE ETANCHE ET PROCEDE DE REALISATION D'UNE TELLE CAVITE ETANCHE.

N° et date de publication de la demande

WO2011003908 - 13/01/2011

Type de la demande

A1

N° et date de dépôt

PCT/EP2010059640 - 06/07/2010

N° et date de priorité

FR0954684 - 07/07/2009

Famille de brevets

FR2947812A1 ; EP2451740A1 ; WO2011003908A1 ; US2012112293A1

Abrégé

Procédé de réalisation d'une cavité étanche (120), comportant les étapes suivantes: a)réalisation d'une couche sacrificielle sur un substrat (104, 106), b) réalisation d'une couche capot (112) recouvrant la couche sacrificielle et une partie de la face du substrat non recouverte par la couche sacrificielle, la couche capot comportant des flancs latéraux (114) formant, avec le substrat, un angle inférieur à 90°, c) réalisation d'un trou à travers un des flancs latéraux de la couche capot tels qu'une distance maximale entre le substrat et un bord du trou soit inférieure à environ 3 µm, le trou traversant une partie (118) de la couche capot déposée sur une partie du substrat non recouverte par la couche sacrificielle, d) élimination de la couche sacrificielle à travers le trou, formant la cavité, e)dépôt d'au moins un matériau (122) bouchant de manière étanche le trou.