Brevet : FR2947812 - CAVITE ETANCHE ET PROCEDE DE REALISATION D'UNE TELLE CAVITE ETANCHE

Titre

CAVITE ETANCHE ET PROCEDE DE REALISATION D'UNE TELLE CAVITE ETANCHE

N° et date de publication de la demande

FR2947812 - 14/01/2011 (BOPI 2011-02)

Type de la demande

A1

N° et date de dépôt

FR0954684 - 07/07/2009

N° et date de priorité

FR0954684 - 07/07/2009

Famille de brevets

FR2947812A1 ; EP2451740A1 ; WO2011003908A1 ; US2012112293A1

Abrégé

Procédé de réalisation d'une cavité étanche (120), comportant les étapes suivantes : a) réalisation d'une couche sacrificielle sur une partie d'une face d'un substrat (104, 106), b) réalisation d'une couche capot (112) recouvrant la couche sacrificielle et comportant des flancs latéraux (114) formant, avec la partie de la face du substrat recouverte par la couche sacrificielle, un angle inférieur à 90°, c) réalisation d'un trou à travers un des flancs latéraux de la couche capot tels qu'une distance maximale entre ladite face du substrat et un bord du trou se trouvant du côté d'une face (113) de la couche capot disposée contre la couche sacrificielle soit inférieure à environ 3 µm, d) élimination de la couche sacrificielle à travers le trou, l'espace libéré par cette élimination formant la cavité, e) dépôt d'au moins un matériau (122) bouchant de manière étanche le trou.