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Brevet : EP2700081 - ARCHITECTURE DE RÉSEAU ET PROTOCOLE POUR UN CLUSTER DES APPAREILS LITHOGRAPHIQU...
Titre
ARCHITECTURE DE RÉSEAU ET PROTOCOLE POUR UN CLUSTER DES APPAREILS LITHOGRAPHIQUES
N° et date de publication de la demande
EP2700081 - 26/02/2014
Type de la demande
A2
N° et date de dépôt
EP12719948.7 - 23/04/2012
N° et date de priorité
US201161478117 - 22/04/2011 ; US201161533673 - 12/09/2011
Classification CIB
Classification CPC
B82Y 10/00 ; B82Y 40/00 ; G03F 7/70508 ; G03F 7/70525 ; G03F 7/70991 ; H01J 37/3177 ; G03F 7/70508 ; G03F 7/70525 ; G03F 7/70991 ; H01J 37/3177 ; B82Y 10/00 ; B82Y 40/00 ; G03F 7/70525 ; G03F 7/70483 ; G03F 7/70508 ; G03F 7/70991 ; G06F 9/48 ; H01J 37/3177 ; G05B 19/41865 ; B82Y 10/00 ; B82Y 40/00 ; G06F 9/4881 ; G05B 19/41865 ; G03F 7/70508 ; G03F 7/70525 ; G03F 7/70991 ; H01J 37/3177 ; B82Y 10/00 ; B82Y 40/00 ; G06F 9/48 ; G03F 7/70483
Famille de brevets
WO2012143548A2 ; JP2014512683A ; KR20140041495A ; RU2013151876A ; CN105974743A ; US2015309424A1 ; WO2012143555A2 ; TW201303521A ; US2013111485A1 ; EP2699966A2 ; EP2700081A2 ; KR20170120194A ; US2013037730A1 ; CN103649836A ; TW201250401A ; JP2016219812A ; JP2014515885A
INTERVENANTS
Déposant
MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V. - COMPUTERLAAN 15 2628 XK DELFT - NL
Titulaire
ASML Netherlands B.V. - De Run 6501 5504 DR Veldhoven - NL
Inventeur
SLOT, Erwin NL-2728 AN Zoetermeer - NL
VAN KERVINCK, Marcel Nicolaas Jacobus NL-2595 BT Den Haag - NL
KUIPER, Vincent Sylvester NL-2564 EP Den Haag - NL
Mandataire
ASML Netherlands B.V. - Corporate Intellectual Property P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven - NL
STATUT EN FRANCE : Déchu
Délivrance
02/11/2022
Date de constatation de déchéance
-
05/12/2023 (BOPI 2024-01)
Date de paiement de la prochaine annuité
02/05/2023
