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Brevet : EP2699966 - ARCHITECTURE DE RESEAU ET PROTOCOLE POUR UN CLUSTER DES APPAREILS LITHOGRAPHIQU...
Titre
ARCHITECTURE DE RESEAU ET PROTOCOLE POUR UN CLUSTER DES APPAREILS LITHOGRAPHIQUES
N° et date de publication de la demande
EP2699966 - 26/02/2014
Type de la demande
A2
N° et date de dépôt
EP12716017.4 - 23/04/2012
N° et date de priorité
US201161478117 - 22/04/2011 ; US201161533673 - 12/09/2011
Classification CIB
Classification CPC
B82Y 10/00 ; B82Y 40/00 ; G03F 7/70508 ; G03F 7/70525 ; G03F 7/70991 ; H01J 37/3177 ; G03F 7/70508 ; G03F 7/70525 ; G03F 7/70991 ; H01J 37/3177 ; B82Y 10/00 ; B82Y 40/00 ; G03F 7/70525 ; G03F 7/70483 ; G03F 7/70508 ; G03F 7/70991 ; G06F 9/48 ; H01J 37/3177 ; G05B 19/41865 ; B82Y 10/00 ; B82Y 40/00 ; G06F 9/4881 ; G05B 19/41865 ; G03F 7/70508 ; G03F 7/70525 ; G03F 7/70991 ; H01J 37/3177 ; B82Y 10/00 ; B82Y 40/00 ; G06F 9/48 ; G03F 7/70483
Famille de brevets
WO2012143548A2 ; JP2014512683A ; KR20140041495A ; RU2013151876A ; CN105974743A ; US2015309424A1 ; WO2012143555A2 ; TW201303521A ; US2013111485A1 ; EP2699966A2 ; EP2700081A2 ; KR20170120194A ; US2013037730A1 ; CN103649836A ; TW201250401A ; JP2016219812A ; JP2014515885A
INTERVENANTS
Déposant
MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V. - COMPUTERLAAN 15 2628 XK DELFT - NL
Titulaire
ASML Netherlands B.V. - De Run 6501 5504 DR Veldhoven - NL
Inventeur
VAN KERVINCK, Marcel Nicolaas Jacobus NL-2595 BV Den Haag - NL
DE BOER, Guido NL-4143 LN Leerdam - NL
Mandataire
ASML Netherlands B.V. - Corporate Intellectual Property P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven - NL
STATUT EN FRANCE
Délivrance
07/04/2021
Registre national des brevets (RNB)
24/07/2023 - N°0258081 - OO : Dérogation à la compétence de la Juridiction Unifiée du Brevet (BOPI 2023-35)
Dernière annuité payée
25/04/2024
Quantième- N° de l'annuité payée
13
Date de paiement de la prochaine annuité
30/04/2025
