PROCEDE ET APPAREIL DE MESURE DE TEMPERATURE DE SUBSTRATS (Brevets)

Titre

PROCEDE ET APPAREIL DE MESURE DE TEMPERATURE DE SUBSTRATS

N° et date de publication de la demande

WO9947901 - 23/09/1999

Type de la demande

N° et date de dépôt

PCT/US9903978 - 23/02/1999

N° et date de priorité

US4421798 - 18/03/1998

Classification CIB

G01J 5/02 ; G01J 5/00 ; G01J 5/04 ; G01J 5/10 ; H01L 21/26 ; H01L 21/31

Classification CPC

G01J 5/0003 ; G01J 5/0007 ; G01J 5/08 ; G01J 5/0815 ; G01J 5/0818 ; G01J 5/0821 ; G01J 5/0846 ; G01J 5/0887 ; H01L 22/10 ; H01L2924/0002 ; G01J 5/064 ; G01J 5/80 ; G01J 5/53 ; G01J 5/00 ; G01J 5/08 ; G01J 5/0821 ; G01J 5/0818 ; G01J 5/0007 ; G01J 5/0003 ; G01J 5/0887 ; G01J 5/0815 ; G01J 5/0846 ; H01L 22/10 ; H01L2924/0002 ; G01J 5/53 ; G01J 5/064 ; G01J 5/80

Famille de brevets

JP2002506988A ; TW455676B ; DE69916256T2 ; US6179466B1 ; KR20010042000A ; WO9947901A1 ; EP1064527A1

Abrégé

L'invention concerne un procédé de correction d'un relevé de sonde de température dans une chambre de traitement thermique destinée au chauffage d'un substrat, le procédé consistant à chauffer le substrat pour le porter à une température de traitement puis à utiliser une première, une deuxième et une troisième sonde pour mesurer la température du substrat. La première sonde possède un premier pouvoir de réflexion effectif et la deuxième sonde possède un deuxième pouvoir de réflexion effectif. La première sonde produit une première indication de température, la deuxième sonde produit une deuxième indication de température et la troisième sonde produit une troisième indication de température. Les premier et deuxième pouvoirs de réflexion peuvent être différents. A partir des première et deuxième indications de température, on peut dériver un relevé corrigé de température, le relevé corrigé de température constituant un indicateur plus précis d'une température réelle du substrat qu'un relevé non corrigé produit par les première et deuxième sondes.