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Brevet : EP1064527 - PROCEDE ET APPAREIL DE MESURE DE TEMPERATURE DE SUBSTRATS
Titre
PROCEDE ET APPAREIL DE MESURE DE TEMPERATURE DE SUBSTRATS
N° et date de publication de la demande
EP1064527 - 03/01/2001
Type de la demande
A1
N° et date de dépôt
EP99908403.1 - 23/02/1999
N° et date de priorité
US4421798 - 18/03/1998
Classification CIB
G01J 5/02 ; G01J 5/00 ; G01J 5/04 ; G01J 5/10 ; H01L 21/26 ; H01L 21/31
Classification CPC
G01J 5/0003 ; G01J 5/0007 ; G01J 5/08 ; G01J 5/0815 ; G01J 5/0818 ; G01J 5/0821 ; G01J 5/0846 ; G01J 5/0887 ; H01L 22/10 ; H01L2924/0002 ; G01J 5/064 ; G01J 5/80 ; G01J 5/53 ; G01J 5/00 ; G01J 5/08 ; G01J 5/0821 ; G01J 5/0818 ; G01J 5/0007 ; G01J 5/0003 ; G01J 5/0887 ; G01J 5/0815 ; G01J 5/0846 ; H01L 22/10 ; H01L2924/0002 ; G01J 5/53 ; G01J 5/064 ; G01J 5/80
Famille de brevets
JP2002506988A ; TW455676B ; DE69916256T2 ; US6179466B1 ; KR20010042000A ; WO9947901A1 ; EP1064527A1
INTERVENANTS
Déposant
APPLIED MATERIALS INC (APPLIED MATERIALS, INC.) - US
Titulaire
Applied Materials, Inc.
Inventeur
PEUSE BRUCE W (PEUSE, BRUCE, W.) - US
MINER GARY E (MINER, GARY, E.) - US
YAM MARK (YAM, MARK) - US
HUNTER AARON (HUNTER, AARON) - US
KNOOT PETER (KNOOT, PETER) - US
MERSHON JASON (MERSHON, JASON) - US
Mandataire
BOULT WADE TENNANT - VERULAM GARDENS 70 GRAY'S INN ROAD WC1X 8BT LONDON - GB
STATUT EN FRANCE : Brevet EP sans effet
Délivrance
07/04/2004
Non remise de traduction du brevet
25/03/2005 (BOPI 2005-12)
