Précédent
Suivant
Brevet : WO9947571 - POLYMERES ABSORBANT LA LUMIERE ET LEUR APPLICATION A UN FILM ANTIREFLET
Titre
POLYMERES ABSORBANT LA LUMIERE ET LEUR APPLICATION A UN FILM ANTIREFLET
N° et date de publication de la demande
WO9947571 - 23/09/1999
Type de la demande
A1
N° et date de dépôt
PCT/JP9901244 - 15/03/1999
N° et date de priorité
JP6662698 - 17/03/1998
Classification CIB
H01L 21/027 ; C08F 8/14 ; C08F 8/30 ; C08F 8/32 ; C08F 222/02 ; C08F 222/04 ; C09D 5/32 ; G03F 7/09 ; G03F 7/11
Classification CPC
C08F 8/14 ; C08F 8/30 ; C09D 5/32 ; G03F 7/091 ; C08F 8/14 ; C08F 8/14 ; C08F 8/30 ; C09D 5/32 ; G03F 7/091
Famille de brevets
US6255405B1 ; TW408251B ; JPH11263806A ; CN1258302A ; EP0982320A1 ; WO9947571A1 ; DE69932676T2 ; KR20010012648A
Abrégé
L'invention concerne un film antireflet à performance élevée absorbant hautement une lumière donnée, notamment des ultraviolets lointains, adhérant de manière tenace à des substrats au moment de la formation du film, offrant un revêtement satisfaisant et éliminant l'influence des ondes stationnaires dans la production de circuits intégrés. L'invention concerne également de nouveaux polymères absorbants la lumière destinés à former le film antireflet et un procédé de production de ces polymères. Ces polymères sont produits par estérification d'un copolymère comprenant des groupes d'anhydre carboxylique et/ou des groupes d'acide dicarboxylique tels que l'acide maléique, constituant des unités de répétition de base avec un chromophore aromatique hydroxylé. Les groupes d'acide carboxylique n'ayant pas réagi ou les groupes d'acide anhydre restants dans le polymère estérifié absorbant la lumière, peuvent être amidés et/ou imidisés avec un composé aromatique aminé. Ces polymères sont dissous dans un solvant organique comprenant un alcool, un hydrocarbone aromatique, un kétone, un ester, ou une combinaison de ceux-ci, et la solution est appliquée à un substrat et cuite pour former un film antireflet
INTERVENANTS
Déposant
CLARIANT JAPAN K K (CLARIANT (JAPAN) K.K.) - JP
KANG WEN BING (KANG, WEN-BING) - JP
NISHIWAKI YOSHINORI (NISHIWAKI, YOSHINORI) - JP
KIMURA KEN (KIMURA, KEN) - JP
MATSUO SHOKO (MATSUO, SHOKO) - JP
TANAKA HATSUYUKI (TANAKA, HATSUYUKI) - JP
Inventeur
KANG WEN-BING (KANG, WEN-BING) - JP
NISHIWAKI YOSHINORI (NISHIWAKI, YOSHINORI) - JP
KIMURA KEN (KIMURA, KEN) - JP
MATSUO SHOKO (MATSUO, SHOKO) - JP
TANAKA HATSUYUKI (TANAKA, HATSUYUKI) - JP
