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Brevet : WO2011015412 - SYSTÈMES ET PROCÉDÉS D'INSPECTION D'OBJET
Titre
SYSTÈMES ET PROCÉDÉS D'INSPECTION D'OBJET
N° et date de publication de la demande
WO2011015412 - 10/02/2011
Type de la demande
A1
N° et date de dépôt
PCT/EP2010059460 - 02/07/2010
N° et date de priorité
US23116109 - 04/08/2009
Classification CIB
Classification CPC
G01N 21/6408 ; G01N 21/6489 ; G01N 21/65 ; G01N 21/94 ; G01N 21/9501 ; G01N 21/956 ; G03F 1/24 ; G03F 1/84 ; G01N 21/6408 ; G01N 21/6489 ; G01N 21/65 ; G01N 21/94 ; G01N 21/9501 ; G01N 21/956 ; G03F 1/24 ; G03F 1/84 ; G01N 21/6408 ; G01N 21/6489 ; G01N 21/65 ; G01N 21/94 ; G01N 21/9501 ; G01N 21/956 ; G03F 1/24 ; G03F 1/84
Famille de brevets
JP2013501228A ; KR20120044376A ; SG176740A1 ; CN102472962A ; NL2005021A ; TW201132955A ; EP2462486A1 ; WO2011015412A1 ; US2012127467A1
Abrégé
L'invention porte sur des procédés et sur des systèmes pour l'inspection d'un objet, lesquels comprennent l'utilisation de techniques spectroscopiques pour la détection de particules non souhaitées sur une surface d'objet, en fonction des différentes réponses des particules non souhaitées en comparaison avec l'objet devant être inspecté en raison de leurs différents matériaux. Une spectroscopie à résolution temporelle et/ou une spectroscopie à résolution d'énergie d'émission de photons secondaire à partir de la surface de l'objet peuvent être utilisées pour obtenir des spectres de Raman et de photoluminescence. Les objets devant être inspectés peuvent, par exemple, être un dispositif de création de motifs tel qu'utilisé dans un procédé lithographique, par exemple, un réticule, auquel cas la présence de métal, d'oxyde métallique ou de particules organiques peut être détectée, par exemple. Les procédés et l'appareil sont hautement sensibles, par exemple, étant aptes à détecter de petites particules (en dessous de 100 nm, en particulier en dessous de 50 nm) sur le côté de motifs du réticule à ultraviolet extrême.
INTERVENANTS
Déposant
ASML NETHERLANDS BV (ASML NETHERLANDS B.V.) - NL
IVANOV VITALII (IVANOV, VITALII) - PL
DEN BOEF ARIE (DEN BOEF, ARIE) - NL
BANINE VADIM (BANINE, VADIM) - NL
SCACCABAROZZI LUIGI (SCACCABAROZZI, LUIGI) - NL
IOSAD NIKOLAY (IOSAD, NIKOLAY) - NL
Inventeur
IVANOV VITALII (IVANOV, VITALII) - PL
DEN BOEF ARIE (DEN BOEF, ARIE) - NL
BANINE VADIM (BANINE, VADIM) - NL
SCACCABAROZZI LUIGI (SCACCABAROZZI, LUIGI) - NL
IOSAD NIKOLAY (IOSAD, NIKOLAY) - NL
