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Brevet : EP2462486 - PROCÉDÉS ET SYSTEMES POUR L'INSPECTION D'OBJETS
Titre
PROCÉDÉS ET SYSTEMES POUR L'INSPECTION D'OBJETS
N° et date de publication de la demande
EP2462486 - 13/06/2012
Type de la demande
A1
N° et date de dépôt
EP10728666.8 - 02/07/2010
N° et date de priorité
US23116109 - 04/08/2009
Classification CIB
G01N 21/64 ; G03F 1/00 ; G01N 21/65 ; G01N 21/94 ; G01N 21/95 ; G01N 21/956 ; G03F 1/24 ; G03F 1/84
Classification CPC
G01N 21/6408 ; G01N 21/6489 ; G01N 21/65 ; G01N 21/94 ; G01N 21/9501 ; G01N 21/956 ; G03F 1/24 ; G03F 1/84 ; G01N 21/6408 ; G01N 21/6489 ; G01N 21/65 ; G01N 21/94 ; G01N 21/9501 ; G01N 21/956 ; G03F 1/24 ; G03F 1/84 ; G01N 21/6408 ; G01N 21/6489 ; G01N 21/65 ; G01N 21/94 ; G01N 21/9501 ; G01N 21/956 ; G03F 1/24 ; G03F 1/84
Famille de brevets
JP2013501228A ; KR20120044376A ; SG176740A1 ; CN102472962A ; NL2005021A ; TW201132955A ; EP2462486A1 ; WO2011015412A1 ; US2012127467A1
INTERVENANTS
Déposant
ASML NETHERLANDS BV - DE RUN 6501 5504 DR VELDHOVEN - NL
Titulaire
ASML Netherlands BV - De Run 6501 5504 DR Veldhoven - NL
Inventeur
IVANOV, Vitalii PL-02-790 Warsaw - PL
DEN BOEF, Arie NL-5581 NA Waalre - NL
BANINE, Vadim NL-5751 SB Deurne - NL
SCACCABAROZZI, Luigi NL-5554 KD Valkenswaard - NL
IOSAD, Nikolay NL-5663 RH Geldrop - NL
Mandataire
Slenders, Petrus Johannes Waltherus et al - ASML Netherlands B.V. Corporate Intellectual Property De Run 6501 P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven - NL
STATUT EN FRANCE
Délivrance
15/04/2020
Registre national des brevets (RNB)
20/07/2023 - N°0258017 - OO : Dérogation à la compétence de la Juridiction Unifiée du Brevet (BOPI 2023-34)
Dernière annuité payée
25/07/2024
Quantième- N° de l'annuité payée
15
Date de paiement de la prochaine annuité
31/07/2025
