Brevet : WO2010115632 - PROCÉDÉ DE MESURE AUTOMATIQUE ET D'APPRENTISSAGE DE POSITIONS DE LOCALISATIO...

Titre

PROCÉDÉ DE MESURE AUTOMATIQUE ET D'APPRENTISSAGE DE POSITIONS DE LOCALISATION D'OBJETS DANS UN SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT AU MOYEN DE SUPPORTS DE CAPTEURS ET D'UN SUPPORT DE CAPTEUR ASSOCIÉ

N° et date de publication de la demande

WO2010115632 - 14/10/2010

Type de la demande

A1

N° et date de dépôt

PCT/EP2010002213 - 09/04/2010

N° et date de priorité

DE102009016811 - 09/04/2009

Famille de brevets

JP2012523682A ; DE102009016811A1 ; US2012022827A1 ; EP2304769A1 ; WO2010115632A1

Abrégé

L'invention concerne un procédé de mesure automatique et d'apprentissage de positions de localisation d'objets (11) dans un système de traitement de substrat (20, 26) dans lequel un support de capteur (1) est déplacé au moyen d'un organe terminal effecteur (24). Des capteurs (2, 3, 4, 5a, 5b) du support de capteur (1) sont déplacés suivant des lignes de mouvement rectilignes (B1, B2, B3) en franchissant les bords (10a, 10b) de l'objet (11), chacun des capteurs (2, 3, 4, 5a, 5b) délivrant au moins un signal de capteur qui change de valeur lors de la détection d'un bord (10a, 10b). À partir des positions où se produisent les changements du signal le long des lignes de mouvement rectilignes respectives (B1, B2, B3), la position de localisation de l'objet (11) est déterminée. De plus, l'invention concerne un support de capteur sans fil mobile de type substrat permettant de mettre en oeuvre le procédé de l'invention, comprenant une plaque de support (1a), au moins un premier capteur (4, 5a, 5b) qui est monté sur la plaque de support (1a) et qui est agencé de façon à détecter un premier bord d'objet (10a) et un second bord d'objet (10b) de l'objet (11) pendant un déplacement du support de capteur (1) suivant un mouvement rectiligne (B1) perpendiculaire à une surface d'objet (13), et au moins un second capteur (2, 3) qui est monté sur la plaque de support (1a) et qui est agencé de façon à détecter au moins un premier bord d'objet (10b) de l'objet (11) pendant le mouvement du support de capteur (1) suivant un mouvement rectiligne (B2) parallèle à la surface d'objet (13).