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Brevet : EP2304769 - PROCÉDÉ DE MESURE AUTOMATIQUE ET D'APPRENTISSAGE DE POSITIONS DE LOCALISATION D...
Titre
PROCÉDÉ DE MESURE AUTOMATIQUE ET D'APPRENTISSAGE DE POSITIONS DE LOCALISATION D'OBJETS DANS UN SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT AU MOYEN DE SUPPORTS DE CAPTEURS ET D'UN SUPPORT DE CAPTEUR ASSOCIÉ
N° et date de publication de la demande
EP2304769 - 06/04/2011
Type de la demande
A1
N° et date de dépôt
EP10714188.9 - 09/04/2010
N° et date de priorité
PCT/EP2010002213 - 09/04/2010 ; DE102009016811 - 09/04/2009
Classification CIB
Classification CPC
H01L 21/67259 ; H01L 21/67265 ; H01L 21/67778 ; H01L 21/681 ; H01L 21/68707
Famille de brevets
JP2012523682A ; DE102009016811A1 ; US2012022827A1 ; WO2010115632A1 ; EP2304769A1
INTERVENANTS
Déposant
AES MOTOMATION GMBH - NIKOLAUS-OTTO-STRASSE 8 40670 MEERBUSCH - DE
Titulaire
AES MOTOMATION GMBH - NIKOLAUS-OTTO-STRASSE 8 40670 MEERBUSCH - DE
Inventeur
HERTGENS, ANDREAS 41352 KORSCHENBROICH - DE
MUELLER, TORSTEN 47647 KERKEN - DE
WALTNER, PAUL 40670 MEERBUSCH - DE
Mandataire
NOVAGRAAF TECHNOLOGIES - 2 RUE SARAH BERNHARDT - 92665 ASNIERES SUR SEINE CEDEX - FR - N° Siren : 329402507
STATUT EN FRANCE
Délivrance
27/11/2013
Dernière annuité payée
23/04/2024
Quantième- N° de l'annuité payée
15
Date de paiement de la prochaine annuité
30/04/2025
