RESISTANCE A COUCHE MINCE COMPRENANT UNE BARRIERE D'HUMIDITE D'OXYDE DE TANTALE (Brevets)

Titre

RESISTANCE A COUCHE MINCE COMPRENANT UNE BARRIERE D'HUMIDITE D'OXYDE DE TANTALE

N° et date de publication de la demande

WO02082474 - 17/10/2002

Type de la demande

N° et date de dépôt

PCT/US0112034 - 12/04/2001

N° et date de priorité

US82916901 - 09/04/2001

Classification CIB

H01C 7/00 ; H01C 17/12 ; H01C 1/032

Classification CPC

H01C 7/006 ; H01C 17/12 ; H01C 17/12 ; H01C 7/006

Famille de brevets

US2002145503A1 ; DE60111961T2 ; WO02082474A1 ; EP1377990A1 ; ATE299614T1 ; US2002145504A1 ; JP2004535059A

Abrégé

L'invention concerne un procédé de fabrication d'une résistance à couche mince comprenant une barrière d'humidité. Ce procédé consiste à déposer une couche de film métallique sur un substrat et à déposer une couche de film d'oxyde de tantale par dessus la couche de film métallique. L'invention concerne également une résistance à couche mince comprenant un substrat, une couche de film métallique fixée sur ce substrat, ainsi qu'une couche d'oxyde de tantale disposée par dessus la couche de film métallique, cette couche d'oxyde de tantale constituant une barrière d'humidité, cette couche n'étant pas recouverte par une oxydation.