Brevet : EP1377990 - RESISTANCE A COUCHE MINCE COMPRENANT UNE BARRIERE DE PENTOXYDE DE TANTALE CONTR...

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Titre

RESISTANCE A COUCHE MINCE COMPRENANT UNE BARRIERE DE PENTOXYDE DE TANTALE CONTRE L'HUMIDITE

N° et date de publication de la demande

EP1377990 - 07/01/2004

Type de la demande

A1

N° et date de dépôt

EP01924989.5 - 12/04/2001

N° et date de priorité

US82916901 - 09/04/2001

Abrégé

The present invention discloses a method of manufacturing a thin film resistor with a moisture barrier by depositing a metal film layer on a substrate and depositing a layer of tantalum pentoxide film overlaying the metal film layer. The present invention also includes a thin film resistor having a substrate; a metal film layer attached to the substrate; and a tantalum pentoxide layer overlaying the metal film layer, the tantalum pentoxide layer providing a barrier to moisture, the tantalum pentoxide layer not overlaid by an oxidation process.

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INTERVENANTS

Déposant

VISHAY DALE ELECTRONICS INC (VISHAY DALE ELECTRONICS, INC.) - US

Titulaire

Vishay Dale Electronics, Inc.

Inventeur

VINCENT STEPHEN C (VINCENT, STEPHEN C.) - US

Mandataire

GEVERS & ORES - IMMEUBLE LE PALATIN 2 3 COURS DU TRIANGLE - 92939 PARIS LA DEFENSE CEDEX - FR

STATUT EN FRANCE : Déchu

Délivrance

13/07/2005

Remise de traduction du brevet

24/03/2006 (BOPI 2006-12)

Date de constatation de déchéance

Date de paiement de la prochaine annuité

02/05/2006

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