Brevet : EP1377990 - RESISTANCE A COUCHE MINCE COMPRENANT UNE BARRIERE DE PENTOXYDE DE TANTALE CONTR...
Titre
RESISTANCE A COUCHE MINCE COMPRENANT UNE BARRIERE DE PENTOXYDE DE TANTALE CONTRE L'HUMIDITE
N° et date de publication de la demande
EP1377990 - 07/01/2004
Type de la demande
A1
N° et date de dépôt
EP01924989.5 - 12/04/2001
N° et date de priorité
US82916901 - 09/04/2001
Classification CIB
Classification CPC
Famille de brevets
US2002145503A1 ; DE60111961T2 ; WO02082474A1 ; EP1377990A1 ; ATE299614T1 ; US2002145504A1 ; JP2004535059A
Abrégé
The present invention discloses a method of manufacturing a thin film resistor with a moisture barrier by depositing a metal film layer on a substrate and depositing a layer of tantalum pentoxide film overlaying the metal film layer. The present invention also includes a thin film resistor having a substrate; a metal film layer attached to the substrate; and a tantalum pentoxide layer overlaying the metal film layer, the tantalum pentoxide layer providing a barrier to moisture, the tantalum pentoxide layer not overlaid by an oxidation process.
INTERVENANTS
Déposant
VISHAY DALE ELECTRONICS INC (VISHAY DALE ELECTRONICS, INC.) - US
Titulaire
Vishay Dale Electronics, Inc.
Inventeur
VINCENT STEPHEN C (VINCENT, STEPHEN C.) - US
Mandataire
GEVERS & ORES - IMMEUBLE LE PALATIN 2 3 COURS DU TRIANGLE - 92939 PARIS LA DEFENSE CEDEX - FR
STATUT EN FRANCE : Déchu
Délivrance
13/07/2005
Remise de traduction du brevet
24/03/2006 (BOPI 2006-12)
Date de constatation de déchéance
-
30/12/2006 (BOPI 2006-53)
Date de paiement de la prochaine annuité
02/05/2006