Brevet : FR2907217 - PROCEDE ET DISPOSITIF DE DETECTION DE FUITES PAR SPECTROSCOPIE D'EMISSION OPTIQ...

Titre

PROCEDE ET DISPOSITIF DE DETECTION DE FUITES PAR SPECTROSCOPIE D'EMISSION OPTIQUE

N° et date de publication de la demande

FR2907217 - 18/04/2008 (BOPI 2008-16)

Type de la demande

A1

N° et date de dépôt

FR0654208 - 12/10/2006

N° et date de priorité

FR0654208 - 12/10/2006

Famille de brevets

FR2907217A1 ; EP1914532A2

Abrégé

Selon l'invention, l'enceinte (1) à tester est mise en dépression vis-à-vis de l'atmosphère extérieure par un dispositif de pompage (15) raccordé par une canalisation de vide (2). Dans une dérivation (3), on génère un plasma (4) par excitation au moyen d'une antenne d'excitation (5) alimentée par un générateur ICP (6). La lumière émise par le plasma (4) est analysée par un spectromètre optique (8) raccordé par une fibre optique (7). On recherche, dans le spectre optique, la présence d'au moins une raie spectrale distinctive d'un gaz de test présent dans l'atmosphère extérieure à l'enceinte (1) mais qui n'est en principe pas présent dans l'atmosphère intérieure de l'enceinte (1). Le gaz de test peut être l'azote, présent majoritairement dans l'air. Le gaz majoritaire à l'intérieur de l'enceinte (1) peut être l'argon. On réalise ainsi une détection de fuites à l'aide de moyens peu onéreux, soit au cours d'une étape spécifique de détection de fuites, soit au cours d'une étape du fonctionnement normal de l'enceinte (1).