Brevet : EP1914532 - Procédé et dispositif de détection de fuites par spectroscopie d'émission optiq...

Titre

Procédé et dispositif de détection de fuites par spectroscopie d'émission optique

N° et date de publication de la demande

EP1914532 - 23/04/2008

Type de la demande

A2

N° et date de dépôt

EP07118244.8 - 10/10/2007

N° et date de priorité

FR0654208 - 12/10/2006

Famille de brevets

FR2907217A1 ; EP1914532A2

Abrégé

Selon l'invention, l'enceinte (1) à tester est mise en dépression vis-à-vis de l'atmosphère extérieure par un dispositif de pompage (15) raccordé par une canalisation de vide (2). Dans une dérivation (3), on génère un plasma (4) par excitation au moyen d'une antenne d'excitation (5) alimentée par un générateur ICP (6). La lumière émise par le plasma (4) est analysée par un spectromètre optique (8) raccordé par une fibre optique (7). On recherche, dans le spectre optique, la présence d'au moins une raie spectrale distinctive d'un gaz de test présent dans l'atmosphère extérieure à l'enceinte (1) mais qui n'est en principe pas présent dans l'atmosphère intérieure de l'enceinte (1). Le gaz majoritaire à l'intérieur de l'enceinte (1) est un gaz neutre monoatomique, comme l'argon. Le gaz de test peut être l'azote, présent majoritairement dans l'air. On réalise ainsi une détection de fuites à l'aide de moyens peu onéreux, soit au cours d'une étape spécifique de détection de fuites, soit au cours d'une étape du fonctionnement normal de l'enceinte (1).