HOLOGRAPHIE À DIFFRACTION D'ÉLECTRONS (Brevets)

Titre

HOLOGRAPHIE À DIFFRACTION D'ÉLECTRONS

N° et date de publication de la demande

EP4318546 - 07/02/2024

Type de la demande

A2

N° et date de dépôt

EP23206141 - 25/03/2021

N° et date de priorité

US202016835129 - 30/03/2020

Classification CIB

H01J 37/04 ; H01J 37/26

Classification CPC

G01N 23/20058 ; H01J 37/295 ; H01J 37/21 ; G01N2223/056 ; G01N2223/102 ; H01J2237/2614 ; H01J 37/04 ; H01J 37/26 ; H01J2237/0492 ; H01J2237/15 ; H01J 37/147 ; H01J 37/10 ; H01J 37/21 ; H01J 37/28 ; G01N 21/453 ; G01N 15/1459 ; G01N 23/207 ; G01N2223/0566 ; G01N2223/064 ; G03H 5/00 ; G03H2224/04 ; H01J 37/26 ; H01J2237/2614 ; H01J 37/04 ; G01N 33/39

Famille de brevets

CN113466269A ; EP4170693A1 ; US2024272100A1 ; JP2021163755A ; EP3889992A1 ; KR20210122111A ; US2023003672A1 ; US2021302333A1 ; EP4318546A2

Abrégé

Selon la présente invention, des procédés d'utilisation de l'holographie par diffraction électronique pour étudier un échantillon comprennent les étapes initiales consistant à émettre une pluralité d'électrons vers l'échantillon, à former la pluralité d'électrons en un premier faisceau d'électrons et un second faisceau d'électrons, et à modifier les propriétés focales d'au moins un des deux faisceaux telles que les deux faisceaux ont des plans focaux différents. Une fois que les deux faisceaux ont des plans focaux différents, les procédés consistent à focaliser le premier faisceau d'électrons de telle sorte qu'il ait un plan focal au niveau ou à proximité de l'échantillon, et à focaliser le deuxième faisceau d'électrons de telle sorte qu'il soit incident sur l'échantillon et qu'il ait un plan focal dans le plan de diffraction. Un motif d'interférence du premier faisceau d'électrons et du deuxième faisceau d'électrons diffracté est ensuite détecté dans le plan de diffraction, puis utilisé pour générer un hologramme de diffraction.