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Brevet : EP3889992 - HOLOGRAPHIE PAR DIFFRACTION ÉLECTRONIQUE
Titre
HOLOGRAPHIE PAR DIFFRACTION ÉLECTRONIQUE
N° et date de publication de la demande
EP3889992 - 06/10/2021
Type de la demande
A1
N° et date de dépôt
EP21164757.3 - 25/03/2021
N° et date de priorité
US202016835129 - 30/03/2020
Classification CIB
Classification CPC
G01N 23/20058 ; H01J 37/295 ; H01J 37/21 ; G01N2223/056 ; G01N2223/102 ; H01J2237/2614 ; H01J 37/04 ; H01J 37/26 ; H01J2237/0492 ; H01J2237/15 ; H01J 37/147 ; H01J 37/10 ; H01J 37/21 ; H01J 37/28 ; G01N 21/453 ; G01N 15/1459 ; G01N 23/207 ; G01N2223/0566 ; G01N2223/064 ; G03H 5/00 ; G03H2224/04 ; H01J 37/26 ; H01J2237/2614 ; H01J 37/04 ; G01N 33/39
Famille de brevets
CN113466269A ; EP4170693A1 ; US2024272100A1 ; JP2021163755A ; EP3889992A1 ; KR20210122111A ; US2023003672A1 ; US2021302333A1 ; EP4318546A2
Abrégé
Des procédés utilisant l'holographie de diffraction électronique pour étudier un échantillon, selon la présente description, comprennent les étapes initiales d'émission d'une pluralité d'électrons vers l'échantillon, formant la pluralité d'électrons dans un premier faisceau d'électrons et un deuxième faisceau d'électrons et de modification des propriétés focales d'au moins un des deux faisceaux de telle sorte que les deux faisceaux ont des plans focaux différents. Une fois que les deux faisceaux ont des plans focaux différents, les procédés comprennent la focalisation du premier faisceau d'électrons de telle qu'il possède un plan focal au niveau de ou proche de l'échantillon, et la focalisation du deuxième faisceau d'électrons de sorte qu'il soit incident sur l'échantillon, et possède un plan focal dans le plan de diffraction. Un motif d'interférence du premier faisceau d'électrons et du deuxième faisceau d'électrons diffracté est ensuite détecté dans le plan de diffraction, puis utilisé pour générer un holographie de diffraction.
INTERVENANTS
Déposant
FEI Company - 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, OR 97124-5793 - US
Titulaire
FEI Company - 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, OR 97124-5793 - US
Inventeur
Henstra, Alexander 5602 BS Eindhoven - NL
Deng, Yuchen 5602 BS Eindhoven - NL
Kohr, Holger 5602 BS Eindhoven - NL
Mandataire
Novagraaf Brevets - Bâtiment O2 2 Rue Sarah Bernhardt - 92665 ASNIERES-SUR-SEINE CEDEX - FR
STATUT EN FRANCE
Délivrance
25/01/2023
Dernière annuité payée
26/03/2024
Quantième- N° de l'annuité payée
4
Date de paiement de la prochaine annuité
31/03/2025
