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Brevet : EP3899662 - PROCÉDÉ DE COMMANDE D'UN PROCESSUS DE FABRICATION ET APPAREILS ASSOCIÉS
Titre
PROCÉDÉ DE COMMANDE D'UN PROCESSUS DE FABRICATION ET APPAREILS ASSOCIÉS
N° et date de publication de la demande
EP3899662 - 27/10/2021
Type de la demande
A1
N° et date de dépôt
EP19801044.9 - 14/11/2019
N° et date de priorité
EP18214013 - 19/12/2018
Classification CPC
G03F 7/70491 ; G03F 7/70633 ; G03F 9/7046 ; G03F 7/70491 ; G03F 7/70633 ; G03F 9/7046 ; G03F 7/706837 ; G03F 7/706839 ; G03F 7/70633 ; G03F 9/7046 ; G03F 7/70491
Famille de brevets
EP3671347A1 ; CN113196174A ; WO2020126242A1 ; TW202038017A ; KR20210089243A ; EP3899662A1 ; US2022026810A1
INTERVENANTS
Déposant
ASML Netherlands B.V. - P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven - NL
Titulaire
ASML Netherlands B.V. - P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven - NL
Inventeur
BRANTJES, Nicolaas Petrus Marcus 5500 AH Veldhoven - NL
COX, Matthijs 5500 AH Veldhoven - NL
MENCHTCHIKOV, Boris San Jose, CA 95131 - US
TABERY, Cyrus, Emil San Jose, CA 95131 - US
ZHANG, Youping San Jose, CA 95131 - US
ZOU, Yi San Jose, CA 95131 - US
LIN, Chenxi San Jose, CA 95131 - US
CHENG, Yana San Jose, CA 95131 - US
HASTINGS, Simon, Philip, Spencer San Jose, CA 95131 - US
GENIN, Maxime, Philippe, Frederic San Jose, CA 95131 - US
STATUT EN FRANCE
Délivrance
01/06/2022
Registre national des brevets (RNB)
18/09/2023 - N°0259425 - OO : Dérogation à la compétence de la Juridiction Unifiée du Brevet (BOPI 2023-43)
Dernière annuité payée
23/11/2023
Quantième- N° de l'annuité payée
5
Date de paiement de la prochaine annuité
02/12/2024
