Brevet : EP2309559 - Structure d'actionnement piézoélectrique comportant une jauge de contrainte pié...
Titre
Structure d'actionnement piézoélectrique comportant une jauge de contrainte piézorésistive intégrée et son procédé de réalisation
N° et date de publication de la demande
EP2309559 - 13/04/2011
Type de la demande
A1
N° et date de dépôt
EP10186357.9 - 04/10/2010
N° et date de priorité
FR0904774 - 06/10/2009
Classification CIB
H10N 30/00 ; H10N 30/074 ; H10N 30/01 ; H10N 30/06 ; H10N 30/078 ; H10N 30/082 ; H10N 30/20 ; H10N 30/85 ; H10N 30/853 ; H10N 30/87
Classification CPC
Y10T 29/42 ; H10N 30/2042 ; H10N 30/06 ; H10N 30/082 ; H10N 30/078 ; H10N 30/101 ; Y10T 29/42 ; H10N 30/2042 ; H10N 30/06 ; H10N 30/078 ; H10N 30/082 ; H10N 30/101
Famille de brevets
Abrégé
L'invention concerne une structure d'actionnement piézoélectrique comportant au moins une jauge de contraintes et au moins un actionneur réalisé à partir d'un empilement à la surface d'un support d'au moins une couche de matériau piézoélectrique (42) disposée entre une couche d'électrode inférieure (43) et une couche d'électrode supérieure (44), au moins une partie de l'empilement formant l'actionneur étant disposé au dessus d'une cavité réalisée dans le support caractérisée en ce que la jauge de contrainte est une jauge piézorésistive située dans la couche d'électrode supérieure et/ou la couche d'électrode inférieure (44j, 43/44j), la ou lesdites couches comportant des discontinuités d'électrodes permettant la réalisation de ladite jauge piézorésistive. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'une telle structure.
INTERVENANTS
Déposant
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES - BATIMENT "LE PONANT D" 25, RUE LEBLANC 75015 PARIS - FR - N° Siren : 775685019
Titulaire
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES - BATIMENT "LE PONANT D" 25, RUE LEBLANC 75015 PARIS - FR - N° Siren : 775685019
Inventeur
CUEFF, MATTHIEU 38100, GRENOBLE - FR
DEFAY, EMMANUEL 38340, VOREPPE - FR
PERRUCHOT, FRANCOIS 38000, GRENOBLE - FR
REY, PATRICE 38430, SAINT JEAN DE MOIRANS - FR
Mandataire
ATOUT PI LAPLACE - Immeuble Visium 22 avenue Aristide Briand - immeuble "Visum" - 94117 Arcueil Cedex - FR
STATUT EN FRANCE
Délivrance
29/05/2013
Dernière annuité payée
23/10/2023
Quantième- N° de l'annuité payée
14
Date de paiement de la prochaine annuité
31/10/2024