PROCEDE DE PREPARATION D'UNE COUCHE D'OXYDE HETEROMETALLIQUE DE TYPE LiMO2 (Brevets)

Titre

PROCEDE DE PREPARATION D'UNE COUCHE D'OXYDE HETEROMETALLIQUE DE TYPE LiMO2

N° et date de publication de la demande

WO9928522 - 10/06/1999

Type de la demande

N° et date de dépôt

PCT/KR9800394 - 02/12/1998

N° et date de priorité

KR19970065147 - 02/12/1997

Classification CIB

C07F 5/00 ; C01D 15/00 ; C07F 5/06 ; C23C 16/40

Classification CPC

C23C 16/40 ; C01D 15/00 ; C07F 5/06 ; C23C 16/40

Famille de brevets

KR19990046967A ; WO9928522A1 ; AU1509099A ; JP2001525489A ; US6409830B1 ; EP1036209A1 ; DE69812406T2

Abrégé

L'invention concerne un composé organométallique représenté par la formule LiOR'• (R'O)MR2 que l'on vaporise à basse température et que l'on utilise dans un procédé de dépôt chimique en phase vapeur d'une couche d'oxyde hétérométallique de type LiMO2, formule dans laquelle M représente un élément du Groupe 13 tel que Al ou Ga; R représente un groupe alkyle C1-10; et R' représente un groupe alkyle C2-10.