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Brevet : WO2010013214 - DÉTECTION DE PARAMÈTRE ENVIRONNEMENTAL PAR CONTRAINTE INDUITE DANS UN CIRCUI...
Titre
DÉTECTION DE PARAMÈTRE ENVIRONNEMENTAL PAR CONTRAINTE INDUITE DANS UN CIRCUIT INTÉGRÉ
N° et date de publication de la demande
WO2010013214 - 04/02/2010
Type de la demande
A1
N° et date de dépôt
PCT/IB2009053321 - 30/07/2009
N° et date de priorité
EP08104945 - 01/08/2008
Classification CIB
Classification CPC
Famille de brevets
CN102112848A ; WO2010013214A1 ; EP2310805A1 ; US2011127627A1
Abrégé
La présente invention concerne un capteur permettant la détection d'une valeur d'un paramètre physique caractéristique de l'environnement du capteur. Le capteur est utilisé en technologie des semi-conducteurs. Un comportement du circuit électronique du capteur est affecté par la contrainte. La contrainte est induite par un film recouvrant le circuit ou seulement une partie de celui-ci. La contrainte est provoquée par le matériau du film, dont les dimensions dépendent de la valeur du paramètre. Cette dépendance est différente de la dépendance du substrat du circuit du même paramètre.
INTERVENANTS
Déposant
NXP BV (NXP B.V.) - NL
HOOFMAN ROMANO (HOOFMAN, ROMANO) - NL
PIJNENBURG REMCO HENRICUS WILHELMUS (PIJNENBURG, REMCO, HENRICUS, WILHELMUS) - NL
PONOMAREV YOURI VICTOROVITCH (PONOMAREV, YOURI, VICTOROVITCH) - NL
Inventeur
HOOFMAN ROMANO (HOOFMAN, ROMANO) - NL
PIJNENBURG REMCO HENRICUS WILHELMUS (PIJNENBURG, REMCO, HENRICUS, WILHELMUS) - NL
PONOMAREV YOURI VICTOROVITCH (PONOMAREV, YOURI, VICTOROVITCH) - NL
