RESONATEUR DE MICROMACHINE A FILM MINCE, GYROSCOPE DE RESONATEUR DE MICROMACHINE A FILM MINCE, SYSTEME DE NAVIGATION FAISANT APPEL A CE GYROSCOPE DE RESONATEUR DE MICROMACHINE A FILM MINCE ET AUTOMOBILE (Brevets)

Titre

RESONATEUR DE MICROMACHINE A FILM MINCE, GYROSCOPE DE RESONATEUR DE MICROMACHINE A FILM MINCE, SYSTEME DE NAVIGATION FAISANT APPEL A CE GYROSCOPE DE RESONATEUR DE MICROMACHINE A FILM MINCE ET AUTOMOBILE

N° et date de publication de la demande

WO03052350 - 26/06/2003

Type de la demande

N° et date de dépôt

PCT/JP0212310 - 26/11/2002

N° et date de priorité

JP2001360560 - 27/11/2001 ; JP2002300116 - 15/10/2002

Classification CIB

G01C 19/56 ; G01C 19/5607 ; G01C 19/5621 ; H03H 9/21 ; H03H 9/24 ; H10N 30/00 ; H10N 30/20 ; H10N 30/85

Classification CPC

G01C 19/5607 ; H03H 9/21 ; H03H 9/2484 ; H03H2003/0492 ; G01C 19/5607 ; H03H 9/2484 ; H03H2003/0492 ; H03H 9/21

Famille de brevets

JP2003227719A ; US2004095046A1 ; WO03052350A1 ; CN1596362A ; EP1437569A1

Abrégé

L'invention concerne un résonateur de micromachine à film mince (résonateur) présentant une efficacité d'entraînement améliorée, un gyroscope de résonateur présentant une sensibilité améliorée par rapport à la vitesse angulaire, un système de navigation faisant appel à ce gyroscope de résonateur, et une automobile. Le résonateur comprend un diapason constitué d'un matériau piézo-électrique, et une première et une seconde électrode situées à l'intérieur et à l'extérieur d'une surface principale d'un bras du diapason. Une troisième et une quatrième électrode sont situées sur un premier et un second film mince piézo-électrique, sur la première et sur la seconde électrode. Des tensions CA de phases mutuellement opposées, sont appliquées à la troisième et à la quatrième électrode. Le diapason résonne, vibrant dans la direction perpendiculaire à la ligne de centre. Le gyroscope de résonateur présente un partie de détection constituée d'une autre électrode et d'un autre film mince piézo-électrique permettant de détecter une force de Coriolis correspondant à la vitesse angulaire appliquée au résonateur.