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Brevet : EP2884547 - Procédé de fabrication d'un photo-détecteur.
Titre
Procédé de fabrication d'un photo-détecteur.
N° et date de publication de la demande
EP2884547 - 17/06/2015
Type de la demande
A1
N° et date de dépôt
EP14197696.9 - 12/12/2014
N° et date de priorité
FR1302934 - 13/12/2013
Classification CIB
Classification CPC
H01L 31/105 ; G02B 6/12004 ; H01L 31/1804 ; Y02P 70/50 ; H01L 31/105 ; G02B 6/12004 ; Y02E 10/547 ; Y02P 70/50 ; H01L 31/1804
Famille de brevets
Abrégé
La fabrication d'un photo-détecteur est réalisée sur un substrat comportant une première portion (A) munie successivement d'un premier film semi-conducteur (2), une couche électriquement isolante (3), un deuxième film semi-conducteur (4), une couche de protection (5). Le substrat comporte également une deuxième portion (B) munie dépourvue du deuxième film semi-conducteur (4). Il comporte encore une troisième portion (C) dépourvue du deuxième film semi-conducteur (4) et de la couche de protection (5). Le deuxième film semi-conducteur (4) est gravé dans la première portion (A) pour former une cavité. Une diode (8) de type PIN/NIP est formée dans la troisième portion (C) au moins au moyen du dépôt d'un troisième matériau semi-conducteur (9) qui vient également remplir la cavité. Une couche de conversion est déposée pour absorber un signal lumineux provenant du deuxième film semi-conducteur et convertir le signal lumineux en signal électrique, la couche de conversion connectant électriquement la diode (8) PIN/NIP.
INTERVENANTS
Déposant
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES - BATIMENT "LE PONANT D" 25, RUE LEBLANC 75015 PARIS - FR - N° Siren : 775685019
Titulaire
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES - BATIMENT "LE PONANT D" 25, RUE LEBLANC 75015 PARIS - FR - N° Siren : 775685019
Inventeur
HARTMANN, JEAN-MICHEL 38420 LE VERSOUD - FR
BOGUMILOWICZ, YANN 38100 GRENOBLE - FR
FEDELI, JEAN-MARC 38120 SAINT-EGREVE - FR
Mandataire
CABINET HECKE - 28 COURS JEAN JAURES - 38000 GRENOBLE - FR - N° Siren : 411972946
STATUT EN FRANCE
Délivrance
09/11/2016
Dernière annuité payée
21/12/2023
Quantième- N° de l'annuité payée
10
Date de paiement de la prochaine annuité
31/12/2024
