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Brevet : EP2708943 - Substrat de réseau et son procédé de fabrication
Titre
Substrat de réseau et son procédé de fabrication
N° et date de publication de la demande
EP2708943 - 19/03/2014
Type de la demande
A1
N° et date de dépôt
EP13184705.5 - 17/09/2013
N° et date de priorité
CN201210345680 - 17/09/2012
Classification CIB
Classification CPC
G02F 1/136227 ; G02F 1/1368 ; H01L 27/124 ; H01L 27/1288 ; G02F 1/136236 ; H01L 27/124 ; G02F 1/136227 ; G02F 1/1368 ; G02F 1/136236 ; H01L 27/1288 ; H01L 27/1222 ; H01L 27/1225
Famille de brevets
Abrégé
La présente invention concerne un substrat support et un procédé de fabrication de celui-ci. Le procédé de fabrication comprend les étapes de: former une ligne de grille, une électrode de grille (2a), une première couche isolante (3), une couche active (4) et des couches de contact ohmique (5) sur un substrat de base (1) par un premier procédé de formation de motif en utilisant un masque de dégradé de gris ou un masque en demi-teintes, dans lequel la couche active (4) entre les couches de contact ohmique (5) correspond à une région de canal; former une seconde couche isolante (6) et une fine couche d'électrode de pixel (7) sur le substrat de base obtenu à l'issue de la première étape par un second processus de formation de motif en utilisant un masque en tons de gris ou un masque en demi-teinte; et former une électrode de drain (8b), une électrode de source (8a), une ligne de données et une couche de passivation (9) sur le substrat de base obtenu à l'issue de la deuxième étape par un troisième procédé de formation de motif en utilisant un masque de tons de gris ou un masque dem-ton.
INTERVENANTS
Déposant
BOE TECHNOLOGY GROUP CO., LTD. - NO. 10 JIUXIANQIAO RD. CHAOYANG DISTRICT BEIJING 100015 - CN
Titulaire
BOE Technology Group Co., Ltd. - No. 10 Jiuxianqiao Rd. Chaoyang District Beijing 100015 - CN
Inventeur
Gao, Tao 100176 Beijing - CN
Zhou, Weifeng 100176 Beijing - CN
Zhang, Feng 100176 Beijing - CN
Lv, Zhijun 100176 Beijing - CN
Mandataire
Brötz, Helmut - Rieder & Partner mbB Patentanwälte - Rechtsanwalt Corneliusstrasse 45 42329 Wuppertal - DE
STATUT EN FRANCE : Déchu
Délivrance
06/11/2019
Date de constatation de déchéance
-
06/05/2021 (BOPI 2021-23)
Date de paiement de la prochaine annuité
30/09/2020
