Brevet : EP1443542 - Procédé et dispositif pour le contrôle du bord d'objects circulaires

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Titre

Procédé et dispositif pour le contrôle du bord d'objects circulaires

N° et date de publication de la demande

EP1443542 - 04/08/2004

Type de la demande

A2

N° et date de dépôt

EP04001554.7 - 26/01/2004

N° et date de priorité

DE10303459 - 29/01/2003

Famille de brevets

EP1443542A2 ; DE10303459A1

Abrégé

En contrôlant la zone de bord d'une plaquette pour des erreurs, comme des fissures filiformes et/ou des cassures conchoïdales, la zone de bord de la plaquette est formée simultanément sur les deux faces, c'est à dire dessus et dessous, par un capteur optique équipé d'une caméra, tandis que la plaquette se tourne autour d'un axe normal à sa surface. Les images ainsi récupérées sont enregistrées. Pour pouvoir ajuster le capteur optique pour la plaquette maintenue excentriquement sur un support pivotant lors de l'enregistrement de la zone de bord, le déroulement de la zone de bord est déterminé de telle sorte que la plaquette maintenue sur le support soit tournée au niveau d'un capteur de lignes. Conformément au déroulement ainsi déterminé de la zone de bord de la plaquette, le capteur optique est déplacé radialement par rapport au support faisant tourner la plaquette, de sorte qu'il reste toujours correctement aligné par rapport au bord de la plaquette - et aussi au niveau d'un plat présent dans tous les cas sur le bord de la plaquette.

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INTERVENANTS

Déposant

INFINEON TECHNOLOGIES AG - SAINT MARTIN STRASSSE 53 81669 MUNCHEN - DE

Titulaire

INFINEON TECHNOLOGIES AG - SAINT MARTIN STRASSSE 53 81669 MUNCHEN - DE

Inventeur

BINDER ALFRED (BINDER, ALFRED) - AT

KROUPA GERHARD (KROUPA, GERHARD) - AT

VON KOBLINSKI CARSTEN DR (VON KOBLINSKI, CARSTEN, DR.) - AT

MATSCHITSCH MARTIN (MATSCHITSCH, MARTIN) - AT

Mandataire

CABINET FLECHNER - 22 AVENUE DE FRIEDLAND - 75008 PARIS - FR - N° Siren : 389528555

STATUT EN FRANCE : Déchu

Délivrance

27/02/2008

Remise de traduction du brevet

26/09/2008 (BOPI 2008-39)

Date de constatation de déchéance

Dernière annuité payée

19/01/2022

Quantième- N° de l'annuité payée

19

Date de paiement de la prochaine annuité

31/01/2023

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