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Brevet : EP1286217 - Précurseur de masque à décalage de phase, sa fabrication et son usage
Titre
Précurseur de masque à décalage de phase, sa fabrication et son usage
N° et date de publication de la demande
EP1286217 - 26/02/2003
Type de la demande
A2
N° et date de dépôt
EP02254507.3 - 26/06/2002
N° et date de priorité
JP2001192958 - 26/06/2001
Classification CIB
Classification CPC
B32B 18/00 ; C04B 35/16 ; C04B 35/58007 ; C04B 35/58042 ; C04B 35/597 ; C04B2235/9653 ; C04B2237/34 ; C04B2237/36 ; C04B2237/704 ; G03F 1/32 ; G03F 1/58 ; G03F 1/26 ; G03F 1/30 ; B32B 18/00 ; C04B 35/16 ; C04B 35/58007 ; C04B 35/58042 ; C04B 35/597 ; C04B2235/9653 ; C04B2237/34 ; C04B2237/36 ; C04B2237/704 ; G03F 1/32 ; G03F 1/58
Famille de brevets
US2003008219A1 ; EP1286217A2 ; TW535030B ; KR20030023460A ; JP2003005347A
Abrégé
L'invention concerne un blanc de masque à décalage de phase constitué d'un substrat transparent et d'un film à décalage de phase. Le film à décalage de phase est constitué d'au moins deux types de couches empilées en alternance, chaque type comprenant une composition différente et contenant au moins un élément choisi parmi les métaux, la silicone, l'oxygène et l'azote. Le film à couches alternées permet d'obtenir un blanc de masque à décalage de phase présentant une résistance chimique améliorée.
INTERVENANTS
Déposant
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. - 6-1, OTEMACHI 2-CHOME CHIYODA-KU, TOKYO - JP
Titulaire
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. - 6-1, OTEMACHI 2-CHOME CHIYODA-KU, TOKYO - JP
Inventeur
KANEKO, HIDEO, NAKAKUBIKI-GUN, NIIGATA-KEN - JP
INAZUKI, YUKIO, NAKAKUBIKI-GUN, NIIGATA-KEN - JP
TSUKAMOTO, TETSUSHI, NAKAKUBIKI-GUN, NIIGATA-KEN - JP
OKAZAKI, SATOSHI, NAKAKUBIKI-GUN, NIIGATA-KEN - JP
Mandataire
CABINET WEINSTEIN - 176 AVENUE CHARLES DE GAULLE - 92201 NEUILLY SUR SEINE - FR - N° Siren : 334924149
STATUT EN FRANCE
Délivrance
27/07/2011
Dernière annuité payée
13/05/2021
Quantième- N° de l'annuité payée
20
