Brevet : EP1014075 - Procédé et dispositif pour la détection de particules dans des gaz réactifs et ...

Titre

Procédé et dispositif pour la détection de particules dans des gaz réactifs et toxiques

N° et date de publication de la demande

EP1014075 - 28/06/2000

Type de la demande

A1

N° et date de dépôt

EP99124854.3 - 15/12/1999

N° et date de priorité

US21711398 - 21/12/1998

Famille de brevets

ES2306496T3 ; JP2000186994A ; US6469780B1 ; KR20000052469A ; ATE397205T1 ; SG78406A1 ; EP1014075A1 ; TWI232928B

Abrégé

L'invention divulgue un appareil et procédé pour détecter des particules dans un gaz contenant des particules sous une pression supérieure à environ 0 psig. L'appareil comprend une ligne de distribution de gaz contenant un gaz sous pression dont la pression est d'environ 0 psig et un compteur à noyaux de condensation en communication fluide avec le gaz sous pression de la ligne de distribution. Le compteur à noyaux de condensation est adapté à recevoir un courant de gaz sous pression sous une pression essentiellement égale à celle du gaz sous pression dans la ligne de distribution. Le compteur à noyaux de condensation est construit en un matériau résistant à la corrosion et ne réagissant pas avec le gaz sous pression, qui peut être constitué d'un ou plusieurs gaz toxiques ou réactifs, tels que ceux utilisés dans le traitement de micropuces, ou un gaz inerte.