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Brevet : EP0773367 - Pompe turbomoléculaire
Titre
Pompe turbomoléculaire
N° et date de publication de la demande
EP0773367 - 14/05/1997
Type de la demande
A1
N° et date de dépôt
EP96200164.0 - 24/01/1996
N° et date de priorité
ITTO950911 - 10/11/1995
Classification CIB
Classification CPC
Famille de brevets
JPH09170589A ; EP0773367A1 ; DE773367T1 ; US5688106A ; ITTO950911A1 ; DE69600306T2
Abrégé
L'invention concerne une pompe turbomoléculaire formée d'un corps (2) muni d'un orifice d'admission (3) et d'un orifice d'évacuation (4) du gaz, d'ensembles de pompage (56a, 56b) situés dans ce corps et formés de plusieurs stators (5a, 5b) et rotors (6a). Ces derniers sont placés en alternance avec les premiers, fixés à un arbre tournant (76) soutenu par au moins un support rotatif (8, 9) et entraînés par un moteur (10) ; un des stators comporte au moins un canal de pompage en spirale (12) permettant de pousser et d'éjecter le gaz depuis une zone proche de l'arbre (7) pour le diriger vers une zone distante de celui-ci ou inversement.
INTERVENANTS
Déposant
VARIAN SPA (VARIAN S.P.A.) - IT
Titulaire
VARIAN S.P.A.
Inventeur
CERRUTI ROBERTO (CERRUTI, ROBERTO) - IT
LEVI GIAMPAOLO (LEVI, GIAMPAOLO) - IT
Mandataire
ERNEST GUTMANN YVES PLASSERAUD SAS - 3 RUE AUBER - 75009 PARIS - FR - N° Siren : 332417500
STATUT EN FRANCE : Dossier déchu définitivement
Délivrance
20/05/1998
Remise de traduction du brevet
04/09/1998 (BOPI 1998-36)
Date de constatation de déchéance
-
30/09/2011 (BOPI 2011-41)
Dernière annuité payée
18/01/2010
Quantième- N° de l'annuité payée
15
