Brevet : EP0441143 - Réparation électrochimique à haute fréquence de circuits ouverts.
Titre
Réparation électrochimique à haute fréquence de circuits ouverts.
N° et date de publication de la demande
EP0441143 - 14/08/1991
Type de la demande
A1
N° et date de dépôt
EP91100549 - 18/01/1991
N° et date de priorité
US47563690 - 06/02/1990
Classification CIB
C23C 18/31 ; C25D 5/02 ; H01L 21/48 ; H05K 3/18 ; H05K 3/22
Classification CPC
C23C 18/31 ; C25D 5/02 ; H01L 21/485 ; H05K 3/182 ; H05K 3/225 ; H05K2203/1115 ; H05K2203/173 ; H01L 21/485 ; H05K 3/225 ; C25D 5/02 ; H05K2203/1115 ; C23C 18/31 ; H05K 3/182 ; H05K2203/173
Abrégé
L'invention concerne un procédé en deux étapes pour supprimer les <
INTERVENANTS
Déposant
IBM (INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION) - US
Inventeur
CHEN CHENGJUN JULIAN (CHEN, CHENGJUN JULIAN) - US
VON GUTFELD ROBERT JACOB (VON GUTFELD, ROBERT JACOB) - US