APPAREIL D'ASPIRATION, ET DISPOSITIF ET PROCÉDÉ POUR L'OBSERVATION D'UN DISPOSITIF SEMI-CONDUCTEUR (Brevets)

Titre

APPAREIL D'ASPIRATION, ET DISPOSITIF ET PROCÉDÉ POUR L'OBSERVATION D'UN DISPOSITIF SEMI-CONDUCTEUR

N° et date de publication de la demande

WO2011162261 - 29/12/2011

Type de la demande

N° et date de dépôt

PCT/JP2011064172 - 21/06/2011

N° et date de priorité

JP2010142868 - 23/06/2010

Classification CIB

H01L 21/66

Classification CPC

H01L 21/6838 ; H01L 21/68757 ; H01L 21/68785 ; H01L 22/12 ; G01N 21/9501 ; G01N 21/9501 ; H01L 21/6838 ; H01L 21/68757 ; H01L 21/68785 ; H01L 22/12 ; H01L 22/24 ; H01L 21/6838 ; H01L 21/68757 ; H01L 21/68785 ; H01L 22/12 ; G01N 21/01 ; G01N 21/9501

Famille de brevets

WO2011162261A1 ; US2013088714A1 ; CN102947922A ; KR20130083826A ; EP2587529A1 ; TW201214595A ; JPWO2011162261A1

Abrégé

L'invention concerne un appareil d'aspiration (10) qui comprend un corps principal comportant une première surface (13) sur laquelle est placée une plaquette semi-conductrice (W) avec un dispositif semi-conducteur (D), et une deuxième surface (14) à l'opposé de la première surface (13), un trou traversant (15) pénétrant dans la première surface (13) et la deuxième surface (14) ; et une unité de transmission de la lumière placée dans le trou traversant (15) qui comporte une surface d'incidence de lumière (16) dans laquelle pénètre la lumière provenant du dispositif semi-conducteur (D) et une surface d'émission de lumière (17) depuis laquelle ladite lumière incidente provenant de la surface d'incidence de lumière (16) est émise. De plus, des premiers sillons d'aspiration (13a) sont formés sur la première surface (13), lesquels appliquent un vide à la plaquette semi-conductrice (W) pour fixer le dispositif semi-conducteur (D) à la surface d'incidence de lumière (16), et des deuxièmes sillons d'aspiration (14a) sont formés sur la deuxième surface (14), lesquels appliquent un vide à une lentille à immersion solide (S) pour fixer celle-ci à la surface d'émission de lumière (17).