Brevet : WO2006075291 - DISPOSITIF DE DEPLACEMENT

Titre

DISPOSITIF DE DEPLACEMENT

N° et date de publication de la demande

WO2006075291 - 20/07/2006

Type de la demande

A2

N° et date de dépôt

PCT/IB2006050088 - 10/01/2006

N° et date de priorité

EP05100237 - 17/01/2005

Famille de brevets

JP2008527964A ; EP1842101A2 ; CN101107571A ; US2008203828A1 ; TW200639589A ; KR20070099609A ; WO2006075291A2

Abrégé

L'invention concerne un dispositif de déplacement (701) spécialement conçu pour être utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Ce dispositif de déplacement comprend un support (714) sur lequel un système d'aimants (710) est agencé en rangées et en colonnes s'étendant respectivement dans la direction X et la direction Y. Les aimants de chaque rangée et de chaque colonne sont disposés selon une configuration de Halbach, à savoir l'orientation magnétique des aimants successifs de chaque rangée et de chaque colonne effectue une rotation sénestrorsum de 90°. La deuxième partie comprend un système de bobine électrique (712) comportant deux types de bobines électriques, un type de bobine électrique présentant un décalage angulaire de +45°, l'autre type de bobine électrique un décalage angulaire de -45° par rapport à la direction X. La première partie (714, 710) peut être déplacée sur un intervalle de centimètres ou davantage par rapport à la deuxième partie (712) qui est stationnaire. Un système d'interféromètre (731, 730) est utilisé pour positionner ladite première partie avec un degré de précision élevé.