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Brevet : EP3789520 - APPAREIL DE CROISSANCE D'UNE TRANCHE SEMI-CONDUCTRICE, EN PARTICULIER DE CARBUR...
Titre
APPAREIL DE CROISSANCE D'UNE TRANCHE SEMI-CONDUCTRICE, EN PARTICULIER DE CARBURE DE SILICIUM ET PROCÉDÉ DE FABRICATION ASSOCIÉ
N° et date de publication de la demande
EP3789520 - 10/03/2021
Type de la demande
A1
N° et date de dépôt
EP20194374.3 - 03/09/2020
N° et date de priorité
IT201900015416 - 03/09/2019
Classification CIB
C30B 25/12 ; C23C 16/02 ; C23C 16/32 ; C23C 16/458 ; C23C 16/46 ; C30B 29/36
Classification CPC
H01L 21/6875 ; H01L 21/68785 ; H01L 21/67011 ; H01L 21/02381 ; H01L 21/02529 ; H01L 21/0262 ; C30B 25/08 ; C30B 29/36 ; C30B 29/36 ; C30B 25/12 ; C23C 16/325 ; C23C 16/0218 ; C23C 16/46 ; C23C 16/4585 ; C23C 16/325 ; C23C 16/4583 ; C30B 25/12 ; C30B 29/36 ; H01L 21/68785 ; H01L 21/67011 ; H01L 21/02529 ; C23C 16/4585 ; C23C 16/46 ; H01L 21/0262 ; C30B 25/08 ; H01L 21/6875
Famille de brevets
US2023295836A1 ; CN112447581A ; IT201900015416A1 ; EP3789520A1 ; CN212750852U ; US2021062361A1
Abrégé
La présente invention concerne un appareil (10) pour faire croître des pla-quettes semi-conductrices, en particulier en carbure de silicium, une chambre (24) abritant un récipient de collecte (22) et un support ou suscepteur (20) disposé sur le récipient de collecte. Le support (20) est formé par un cadre (26) entourant une ouverture (28) recevant une pluralité de bras (30) et un siège (48). Le cadre (26) a une première et une seconde surface (26D, 26C), opposées l'une à l'autre, la première surface (26D) du cadre faisant face au récipient de collecte (220). Les bras (30) sont formés par des barres en porte-à-faux s'étendant du cadre (26) dans l'ouverture (28), ayant une hau-teur maximale inférieure au cadre, et ayant au sommet un bord d'appui (43). Les bords d‘appui des bras définissent une surface d‘appui (44) qui est à un niveau inférieur à la seconde surface (26C) du cadre. Le siège (48) a un fond formé par la surface d'appui (44).
INTERVENANTS
Déposant
STMicroelectronics S.r.l. - Via C. Olivetti, 2 20864 Agrate Brianza (MB) - IT
Titulaire
STMicroelectronics S.r.l. - Via C. Olivetti, 2 20864 Agrate Brianza (MB) - IT
Inventeur
ANZALONE, Ruggero 95029 VIAGRANDE (CT) - IT
FRAZZETTO, Nicolò 95037 SAN GIOVANNI LA PUNTA (CT) - IT
LA VIA, Francesco 95124 CATANIA - IT
Mandataire
Cerbaro, Elena et al - Studio Torta S.p.A. Via Viotti, 9 10121 Torino - IT
STATUT EN FRANCE : Déchu
Délivrance
29/06/2022
Date de constatation de déchéance
-
05/05/2023 (BOPI 2023-22)
Date de paiement de la prochaine annuité
30/09/2022
