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Brevet : EP1258920 - Procédé de formation de régions enterrées
Titre
Procédé de formation de régions enterrées
N° et date de publication de la demande
EP1258920 - 20/11/2002
Type de la demande
A2
N° et date de dépôt
EP02010016.0 - 04/05/2002
N° et date de priorité
DE10124038 - 16/05/2001
Classification CIB
Classification CPC
H01L 21/74 ; H01L 21/76264 ; H01L 21/76275 ; H01L 21/76283 ; H01L 21/76264 ; H01L 21/76275 ; H01L 21/76283 ; H01L 21/74
Famille de brevets
Abrégé
La présente invention concerne un procédé destiné à fabriquer des zones enfouies. (!PP!) Sur les procédés connus jusqu'à présent, les couches enfouies, comme par exemple l'oxyde de silice, sont produites sur des galettes SOI en ce que la galette adhérée sur la galette SOI soit réduite à l'épaisseur souhaitée, puis les couches élevées sur la galette SOI soient séparées au moyen d'un processus d'enfouissement. (!PP!) Selon le nouveau procédé, des zones sont produites sur la surface de la première galette avec des paramètres de couches modifiés et sont enfouies par l'ajout d'une autre galette. Ensuite, une couche isolante est appliquée et la surface de la première galette est ajoutée à la surface d'une autre galette. En outre, la couche porteuse et la couche intermédiaire isolante de la première galette est enlevée. Ceci permet d'obtenir l'amincissement de la seconde galette. Par ailleurs, des zones sont produites avec des gradients verticaux dans les paramètres de couche sans traiter la seconde galette.
INTERVENANTS
Déposant
ATMEL GERMANY GMBH - THERESIENSTRASSE 2 74072 HEILBRONN - DE
Titulaire
ATMEL GERMANY GMBH - THERESIENSTRASSE 2 74072 HEILBRONN - DE
Inventeur
DIETRICH HARRY (DIETRICH, HARRY) - DE
DUDEK VOLKER DR (DUDEK, VOLKER, DR.) - DE
SCHUEPPEN ANDREAS DR (SCHUEPPEN, ANDREAS, DR.) - DE
Mandataire
LAURENT & CHARRAS - 1 A PLACE BOECLER BP 10063 - 67024 STRASBOURG CEDEX 1 - FR - N° Siren : 488047879
STATUT EN FRANCE : Déchu
Délivrance
26/03/2008
Remise de traduction du brevet
28/11/2008 (BOPI 2008-48)
Date de constatation de déchéance
-
29/01/2010 (BOPI 2010-08)
Dernière annuité payée
26/05/2008
Quantième- N° de l'annuité payée
7
Date de paiement de la prochaine annuité
02/06/2009
